高純氦氣是由99.8%的惰性氣體和0.2的高沸點雜質組成。這種氣流經過特殊設備，用化學的方法除去其中的水、二氧化碳等對人體有害的氣體后可得到高達7個九（即99．
９％）以上的超高清潔度標準的工業用的性質穩定的大分子團單原子氣體；其主要用途是作為新一代超潔凈顯示技術和半導體工藝中的新型熱沉基質材料和高精度光學透鏡材料的成份充填物以及用于低速冷凍機及手術制冷等領域。
高純氦氣是一種無色、無味的氣體，化學性質穩定。在工業生產中用途廣泛：
1.精餾原料要求嚴格干燥的場合，因為水的存在會嚴重影響深冷技術的操作和安全；2.在超高能伽馬探測技術方面作為一種慢化劑用于核反應堆的運行;3.作為載熱介質,輸送高溫氣體或導走生產線上的工藝廢熱等4.高壓液態空氣分離獲得冷凍水及氧氣時產生的不凝性發泡物可利用氮置換將不凝性發泡沫抽出后充入高壓液氬容器內作動力用50兆帕表壓力以上時可不經液化排除制冷系統內的氣泡6可作為強照明光源（可用于夜間釣魚）.此外還可用作為超低溫冷卻液體泵浦的動力來源以及干冰制造源等等。
六氟化硫，是一種無色、不易被分解的氣體。它有很高的化學穩定性,在通常的條件下不會被氧化或發生任何反應生成其他化合物氣體;不溶于水和其他溶劑；其分子內部能形成較強的鹵素鍵和范德瓦爾斯電子對的作用(電負性較大的元素如氧與其它元素的單質結合成二元酸),是優良的高壓電氣絕緣材料之一。
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